1 可进行圆度、波纹度、同心度、垂直度、平行度、及平面度测量（可用四种方法评定原度误差）。
2 可对零件表面状态进行频谱分析。
3 能够给出零件的偏心及相位。
5 可处理出任意波段的波纹度值。

1 主轴精度：±0.018um
2 测量范围：最大外径Φ140mm(可定做≥Φ200mm Φ250mm Φ300mm）
最小内径：Φ3mm
最大测量高度：200mm
最大被测件重量：10Kg
3 系统精度：0.045um
4 量程范围： ≤30um
5 电源：交流单相220V 50Hz 250W
6 气源压力：≥0.5Mpa